随着快速數(shù)據采集和(hé)數(shù)據處理(lǐ)技(jì)術(shù)的發展,電(diàn)子顯微鏡進入了一個(gè)不僅重視(shì)數(shù)據質量,而且重視(shì)其采集過程的時(shí)代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高(gāo)質量圖像、大(dà)束流分析及長時(shí)間(jiān)穩定運行(xíng)的冷場(chǎng)成像技(jì)術(shù),同時(shí)還(hái)大(dà)大(dà)提升了高(gāo)通(tōng)量、自動數(shù)據獲取能力。
超高(gāo)分辨成像:日立的高(gāo)亮度電(diàn)子源可(kě)保證了即使在超低(dī)着陸電(diàn)壓下,也可(kě)獲得(de)超高(gāo)分辨的圖像。
先進的自動化功能:EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作(zuò)流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定義為(wèi)圖形化的模塊,如設置放大(dà)倍率、移動樣品位置、調節焦距和(hé)明(míng)暗對比度等。用戶可(kě)以通(tōng)過簡單的鼠标拖拽,将這些(xiē)模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作(zuò)程序。經過調試和(hé)确認後,該程序便可(kě)以在每次調用時(shí)自動獲得(de)高(gāo)質量、重現性好的圖像數(shù)據。
靈活的用戶界面:原生(shēng)支持雙顯示器(qì),提供靈活、高(gāo)效的操作(zuò)空(kōng)間(jiān)。6通(tōng)道(dào)同時(shí)顯示與保存,實現快速的多(duō)信号觀測與采集。1,2,4 或6通(tōng)道(dào)信号可(kě)在同一個(gè)顯示器(qì)上(shàng)同時(shí)顯示,可(kě)切換內(nèi)容包括SEM各探測器(qì)以及樣品室相機和(hé)導航相機。可(kě)以通(tōng)過使用兩個(gè)顯示器(qì)來(lái)擴展工作(zuò)空(kōng)間(jiān),可(kě)定制(zhì)的用戶界面以提高(gāo)工作(zuò)效率。
機型 |
SU8600 系 |
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電(diàn)子光學系統 |
二次電(diàn)子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * |
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放大(dà)倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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電(diàn)子槍 |
冷場(chǎng)發射電(diàn)子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統。 |
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加速電(diàn)壓 |
0.5 to 30 kV |
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着陸電(diàn)壓 * |
0.01 to 20 kV |
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探測器(qì) |
(部分為(wèi)選配項) |
上(shàng)探測器(qì)(UD) |
UD ExB能量過濾器(qì),包含SE/BSE信号混合功能 |
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下探測器(qì)(LD) |
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頂探測器(qì)(TD) |
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TD能量過濾器(qì) |
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鏡筒內(nèi)背散射電(diàn)子探測器(qì)(IMD) |
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半導體(tǐ)式背散射電(diàn)子探測器(qì) (PD-BSED) |
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新型閃爍體(tǐ)式背散射電(diàn)子探測器(qì)(OCD) |
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陰極熒光探測器(qì)(CLD) |
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掃描透射探測器(qì)(STEM Detector) |
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附件 |
(部分為(wèi)選配項) |
導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電(diàn)子衍射探測器(qì)(EBSD) |
軟件 |
(部分為(wèi)選配項) |
EM Flow Creater、HD Capture(最高(gāo) 40,960×30,720 像素) |
樣品台 |
馬達驅動軸 |
5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T) |
馬達驅動軸 |
X:0~110 mm |
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Y:0~110 mm |
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Z:1.5~40 mm |
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T:-5~70° |
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R:360° |
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樣品室 |
樣品尺寸 |
最大(dà)直徑:150 mm |