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掃描電(diàn)子顯微鏡 SU3800/SU3900
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産品簡介

日立高(gāo)新推出的掃描電(diàn)鏡SU3800/SU3900兼具操作(zuò)性和(hé)擴展性，結合衆多(duō)的自動化功能，可(kě)高(gāo)效發揮其高(gāo)性能。SU3900标配多(duō)功能超大(dà)樣品倉，可(kě)應對大(dà)型樣品的觀察。

①SU3900标配多(duō)功能超大(dà)樣品倉，可(kě)應對大(dà)型樣品的觀察

■ 樣品台可(kě)搭載超大(dà)/超重樣品

· 通(tōng)過更換樣品提示，可(kě)防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品

· 選配樣品交換倉，可(kě)在主樣品倉保持真空(kōng)的狀态下快速更換樣品，大(dà)大(dà)提高(gāo)了工作(zuò)效率

· 具備樣品台移動限制(zhì)解除功能,提高(gāo)了自由度*

· 紅外CCD探測器(qì)，提高(gāo)了樣品台移動的安全性

■ 支持全視(shì)野移動。SEM MAP支持超大(dà)樣品的全視(shì)野觀察

· 與GUI聯合，可(kě)配備樣品倉室導航相機

· 覆蓋整個(gè)可(kě)觀察區(qū)域

· 支持360度旋轉


②随着各種自動化功能的強化，操作(zuò)性能得(de)到了進一步優化。

■ 一個(gè)鼠标就能夠輕松操作(zuò)的簡約GUI

■ 各種自動化功能

· 自動調整算(suàn)法經改良後，等待時(shí)間(jiān)減少(shǎo)至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

· 提高(gāo)了自動聚焦精度

· 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

■ Multi Zigzag，可(kě)實現多(duō)區(qū)域的大(dà)視(shì)野觀察

■ Report Creator，可(kě)利用獲得(de)的數(shù)據批量生(shēng)成數(shù)據報告

③可(kě)提供滿足測試需求的應用解決方案

■ 可(kě)滿足多(duō)種觀察需求的探測器(qì)

· 搭載高(gāo)靈敏度UVD*，支持CL觀察

· 高(gāo)靈敏度半導體(tǐ)式背散射電(diàn)子探測器(qì)，切換成分/凹凸等多(duō)種圖像

■ 配備了多(duō)功能超大(dà)樣品倉，可(kě)以搭載多(duō)種配件

■ SEM/EDS一體(tǐ)化功能*

■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■ 支持圖像測量軟件Image pro

産品參數(shù)

ITEM

SU3800

SU3900

二級電(diàn)子分解能

3.0nm（加速電(diàn)壓30kV、WD=5mm、高(gāo)真空(kōng)模式）

15.0nm（加速電(diàn)壓1kV、WD=5mm、高(gāo)真空(kōng)模式）

背散射電(diàn)子分解能

4.0nm（加速電(diàn)壓30kV、WD=5mm、低(dī)真空(kōng)模式）

倍率

×5～×300,000（照片倍率*1）

×7～×800,000（實際顯示倍率*2）

加速電(diàn)壓

0.3kV～30kV

低(dī)真空(kōng)度設定

6～650 Pa

圖像位移

±50µm（WD＝10mm）

最大(dà)樣品尺寸

200mm直徑

300mm直徑

樣品台

X

0～100mm

0～150mm

Y

0～50mm

0～150mm

Z

5～65mm

5～85mm

R

360°連續

T

－20°～+90°

最大(dà)可(kě)觀察範圍

130mm直徑（R并用）

200mm直徑（R并用）

最大(dà)可(kě)觀察高(gāo)度

80mm（WD=10mm）

130mm（WD=10mm）

電(diàn)機驅動

5軸電(diàn)機驅動

電(diàn)子光學系統

電(diàn)子槍

中心操控式鎢絲發射

物像鏡頭光圈

4孔可(kě)動光圈

檢測系統

二級電(diàn)子檢測器(qì)、高(gāo)靈敏半導體(tǐ)背散射電(diàn)子檢測器(qì)

EDX分析WD

WD＝10mm（T.O.A＝35°）

圖像顯示

自動光軸調整功能

自動光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC）

自動光軸調整（實時(shí)級别對齊）

自動調整光束亮度

自動圖像調整功能

自動亮度和(hé)對比度控制(zhì)（ABCC）

自動對焦控制(zhì)（AFC）

自動标記和(hé)焦點功能（ASF）

自動燈絲飽和(hé)度調整（AFS）

自動光束對準（ABA）

自動啓動（HV-ON→ABCC→AFC）

操作(zuò)輔助功能

光機旋轉、動态聚焦、圖像質量改善功能、數(shù)據輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大(dà)、樣品台位置導航功能（SEM MAP）、光束标記功能

配件

■硬件:軌迹球、操縱杆、操作(zuò)面闆、壓縮機、高(gāo)靈敏度操作(zuò)低(dī)空(kōng)探測器(qì)（UVD）、紅外CCD探測器(qì)、攝像機導航系統■軟件:SEM數(shù)據管理(lǐ)器(qì)外部通(tōng)訊接口、3D捕獲、裝置台移動限制(zhì)解除功能、EDS集成

配件（外部裝置）

能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、
各種外部功能台（加熱台、冷卻台、牽引台）

 

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