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掃描電(diàn)子顯微鏡 FlexSEM 1000 II
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産品簡介

lexSEM 1000 II，憑借全新設計(jì)的電(diàn)子光學系統和(hé)高(gāo)靈敏度檢測器(qì)，可(kě)在加速電(diàn)壓20 kV下實現4.0 nm的分辨率。全新開(kāi)發的用戶界面，具有(yǒu)亮度和(hé)對焦自動調節功能，可(kě)以在短(duǎn)時(shí)間(jiān)內(nèi)進行(xíng)各種觀察。此外，還(hái)搭載了全新的導航功能“SEM MAP”，這個(gè)功能可(kě)彌補電(diàn)子顯微鏡上(shàng)難以找準視(shì)野的缺點，實現最直觀的視(shì)野移動。

· 盡管是可(kě)放置在桌面上(shàng)的小(xiǎo)巧緊湊型*1電(diàn)子顯微鏡，仍可(kě)實現4.0 nm的分辨率

· 憑借獨特的高(gāo)靈敏度二次電(diàn)子、背散射電(diàn)子檢測器(qì)、低(dī)真空(kōng)檢測器(qì)（UVD*2），可(kě)在低(dī)加速/低(dī)真空(kōng)下觀察時(shí)實現最高(gāo)的畫(huà)質

· 全新的用戶界面，無論用戶的熟練程度如何，都可(kě)實現高(gāo)畫(huà)質和(hé)高(gāo)處理(lǐ)能力

· 全新的定位功能“SEM MAP”，支持觀察時(shí)的視(shì)野搜索和(hé)樣品定位

· 大(dà)直徑（30毫米2）無氮EDS檢測器(qì)，可(kě)快速進行(xíng)元素分析*2

産品參數(shù)

項目

內(nèi)容

分辨率*3

4.0 nm（二次電(diàn)子像、加速電(diàn)壓：20 kV、高(gāo)真空(kōng)模式）
15.0 nm（二次電(diàn)子像、加速電(diàn)壓：1 kV、高(gāo)真空(kōng)模式）
5.0 nm（背散射電(diàn)子像、加速電(diàn)壓：20 kV、低(dī)真空(kōng)模式）

加速電(diàn)壓

0.3 kV～20 kV

倍率

×6～×300,000 （照片倍率）
×16～×800,000 （顯示器(qì)顯示倍率）

低(dī)真空(kōng)設置

6～100 Pa

電(diàn)子槍

集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament）

樣品台

3軸馬達驅動樣品台
X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm
T：-15～90°、R：360°
最大(dà)可(kě)觀察範圍：直徑64mm（R聯用）*4

最大(dà)樣品尺寸

直徑80 mm（選配：直徑153mm）

最大(dà)樣品高(gāo)度

40 mm

尺寸

機體(tǐ)：450（寬度）×640（進深）×690（高(gāo)度） mm
電(diàn)源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高(gāo)度） mm

選項

· 高(gāo)敏感度低(dī)真空(kōng)檢測器(qì)（UVD2.0）

· 能量色散型X射線檢測器(qì)（EDS）

軟件

Multi Zigzag（連續視(shì)野圖像導入功能）

 

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